◇반도체 제조장치용 세라믹스 부품 개발기술 및 마케팅 지원
(1)질화알루미늄(AlN), 탄화규소(SiC), 질화규소(Si3N4), 알루미나(Al2O3) 세라믹 부품의 마케팅 지원
이 지원은 특히 (1) 반도체 제조장치에 필수적인 세라믹스-금속의 접합기술, (2) 세라믹스=금속간 접합의 신뢰성 평가 및 신뢰성 평가기술, (3) 열·응력 시뮬레이션, 분석·불량 해석에 기초한 기술에 대해 지원 가능합니다.
◇지원의 구체적인 예
(1) 질화알루미늄(AlN)을 주요 재료로 하는 반도체 제조 장치용 정전 척, 히터 등의 판매 촉진 지원
(2) 그 마케팅 활동을 서포트하는 제품 개발 기술 지원
(3) 고객 발굴 등